電気抵抗を測り、半導体ウェハの表面と内部の結晶品質を調べる
東北大学金属材料研究所の研究成果を基にしたHS-CMR法で、半導体ウェハの表面・内部の結晶品質を電気的に評価する技術。
株式会社パンソリューションテクノロジーズ 東北大学発 ／ 東京都 千代田区 ／ 2017年設立
研究発の技術 半導体計測 ウェハ品質評価 四探針抵抗率測定 結晶欠陥評価 太陽電池 パワー半導体
2年以上、新しい発信を確認できず 公式ニュースは2024年8月の事務所移転以降更新がなく、官民ファンドの報告にも2021年時点で売上・事業進捗がなかったとあるため、直近の活動を確認できない。
実用化の段階
研究実証販売
大学は2017年に測定装置の実用化・製造販売を公表し、会社は現在も装置製品と受託測定サービスを案内している。
3製品
1提携・顧客
0特許
2出資者
しくみ
解こうとしている課題
従来の品質評価では、結晶基板の測定値と太陽電池の変換効率との相関を得にくく、セル化試験に時間と費用がかかるため、ウェハ品質のばらつきや開発効率の低下が課題だった。
どう動くか
四探針抵抗率測定を基礎に、試料に応じて印加電流を変えながら抵抗率プロファイルを取得・解析する。表面の汚染や加工損傷だけでなく、内部の欠陥や不純物の影響も反映し、表面品質を主に示すα値と内部品質を主に示すβ値などで評価する。会社と大学は、太陽電池用Si基板では1枚10秒の測定例を公表している。
できるようになること
ウェハ段階で品質を評価できれば、セル化前の選別や結晶・加工工程へのフィードバックが可能になる。大学は、太陽電池製造の高効率化・低コスト化・高品質化に貢献すると説明し、会社は半導体材料の品質改善や開発効率向上への活用を掲げている。
使われる場面
- 太陽電池用シリコンウェハの品質評価
- 半導体ウェハの結晶品質評価
- SiC・GaN・Ga2O3など化合物半導体ウェハの開発・製造時の評価
- ウェハの出荷・仕入れ検査
- 結晶成長・スライス・研磨など製造工程の改善
優位性の主張
製品・サービス
これまでの歩み 新しい順
提携先・顧客
資本提携
日本材料技研株式会社 第三者割当増資を引き受け、持分法適用関連会社化。 出典
大学との関係
出資者（公開情報で確認できた2社）
事業会社（CVCを含む） 1大学系（大学VC・大学） 1
会社や出資者の発表から確認した。出資者の種類は、AIが社名から付けたもの。個人の株主は載せていない。＊は、出典のページで社名を機械的に照合できなかったもの。