約2,000℃の気相処理でSiCウエハーを改質し、光で評価する
SiCウエハーの加工歪みや結晶欠陥を抑える高温処理技術と、光散乱法で加工状態を非破壊評価する技術。
QureDA Research株式会社 関西学院大学発 / 兵庫県 三田市学園上ケ原 / 2023年設立
研究発の技術 炭化ケイ素(SiC) パワー半導体 ウエハー製造プロセス 高温気相処理 表面ナノ制御 光散乱計測
実用化の段階
研究実証販売
技術開発と評価事業を掲げ、トヨタ自動車との量産技術開発契約およびレーザーテックとの評価技術協業を公表しているが、一般販売の実績や価格は確認できなかった。
2製品
4提携・顧客
2特許
3出資者
しくみ
解こうとしている課題
SiCウエハーは硬く脆く、製造時の加工歪みや結晶欠陥が品質・歩留まりを損ねる。品質評価にも複数の測定手法が必要で、製造の安定化やコスト低減が課題。
どう動くか
Dynamic AGE-ing®は、SiCウエハーを約2,000℃領域の気相環境に置き、表面の原子配列を制御する非接触処理。加工歪み層の除去、欠陥を抑えた層の形成、表面平坦化を狙う。評価技術は、ウエハーに光を当てて散乱光を測定し、加工歪みをウエハー全面にわたり非破壊で可視化する。特許出願では、測定値を検査・加工条件・製造ライン制御に用いる方法も記載されている。
できるようになること
会社・大学は、ウエハーの高品質化、生産性向上、安定量産、製造コスト低減を目指す。SiCパワー半導体の普及を通じて、電動車などの電力利用効率向上やカーボンニュートラルへの貢献を掲げている。
技術の出自:関西学院大学 工学部 電気電子応用工学課程、SiC結晶・製造プロセス研究。関西学院大学と豊田通商が構築した産学連携の開発プラットフォームを基盤とする。 出典1 出典2 出典3 出典4 出典5
使われる場面
- SiCパワー半導体ウエハーの加工・製造
- ウエハー加工歪みの非破壊検査・品質評価
- 電動車(EV・HV・FCV)向けパワー半導体
- 太陽光発電システム、鉄道車両、AIサーバー電源向けSiCパワーデバイス
優位性の主張
製品・サービス
これまでの歩み 新しい順
提携先・顧客
特許
大学との関係
出資者(公開情報で確認できた3社)
事業会社(CVCを含む) 1大学系(大学VC・大学) 2
会社や出資者の発表から確認した。出資者の種類は、AIが社名から付けたもの。個人の株主は載せていない。*は、出典のページで社名を機械的に照合できなかったもの。