低温プラズマでナノグラフェン膜や半導体材料を作る

低温プラズマでナノグラフェンや半導体材料を作製する技術と、プラズマ中のラジカルを発生・計測する装置を開発。

NU-Rei株式会社 名古屋大学発 / 愛知県 名古屋市東区 / 2013年設立
研究発の技術 低温プラズマ ナノグラフェン リチウムイオン電池 ラジカル源 ラジカル計測 真空紫外吸収分光
実用化の段階
研究実証販売
プラズマ関連装置を製品として掲載し、研究開発用途向けβ-Ga₂O₃エピウェハは2026年6月に販売開始を公表している一方、電池はJAXAの開発事業開始段階。
5製品
3提携・顧客
6特許
2出資者

しくみ

解こうとしている課題

電池の容量向上に使われてきたグラファイト負極の性能限界や調達課題、半導体材料の高品質・高速成長、プラズマ工程でラジカル量を把握しにくい課題に取り組む。

どう動くか

プラズマで原料を反応させ、リチウムイオン電池の負極に使うナノグラフェン膜や、半導体成膜に用いるラジカルを生成する。電池では従来のグラファイト負極をナノグラフェンに置き換える。装置事業では真空紫外吸収分光により水素・窒素・酸素ラジカルの密度を測り、製造プロセスへ反映する。名古屋大学との共同研究では酸素ラジカル源を使った酸化ガリウム成長も進める。

できるようになること

同社・名古屋大学・JAXAの説明では、ナノグラフェン負極により高容量・軽量な電池の開発を目指す。JAXA採択事業は小型衛星向け電池の重量を従来比50%にする目標を掲げる。酸化ガリウム成長技術はパワー半導体の材料プロセス整備に資するとされる。

技術の出自:名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター、大学院工学研究科。ナノグラフェン二次電池および低温プラズマ・半導体材料成長の研究。 出典1 出典2 出典3 出典4 出典5

使われる場面

  • リチウムイオン電池・蓄電デバイス
  • 小型衛星・ロケット用電源
  • 半導体・パワーデバイス材料の成膜
  • プラズマ工程のラジカル計測・制御
  • 表面処理・薄膜作製
  • 酸化ガリウムパワー半導体の研究開発

優位性の主張

会社の主張
会社は、RadiMoをプロセスで使える超小型のラジカル絶対密度計測装置と説明し、検出限界を1×10^10個/cm³以上としている。 出典
会社の主張
会社は、名古屋大学と共同開発した計測器により発生ラジカル量を製品仕様として保証できる点を、高密度ラジカル源の独自性として主張している。 出典
第三者の評価
JAXAの採択事業説明では、金属箔上のナノグラフェン負極材料について、電池面積容量密度が従来の5倍と報告されている。 出典

製品・サービス

販売中
RadiMo(ラジカルモニター)

真空紫外吸収分光で水素・窒素・酸素ラジカルの密度を測り、プラズマ工程へフィードバックする装置。 出典

半導体・薄膜・表面処理などのプラズマ工程を扱う企業・研究機関
販売中
高密度ラジカル源装置(HDRS)

MBE等の成膜向けに高密度の窒素・酸素ラジカルを供給する装置。 出典

半導体・LED・パワーデバイスの製造企業・研究機関
実証
スーパーナノグラフェンリチウムイオン電池

低温プラズマで作製したナノグラフェン負極を用いる高容量・軽量電池。衛星・ロケット等への応用を開発中。 出典

小型衛星・ロケット向け電池メーカー、宇宙関連事業者
販売中
β-Ga₂O₃エピウェハ

研究開発用途向け酸化ガリウムのエピタキシャルウェハ。会社は2026年6月に販売開始を公表。 出典

大学・研究機関・企業
販売中
大気圧プラズマ装置・プラズマペン

表面処理や低温プラズマ研究などに使う大気圧プラズマ装置。 出典

製造企業・大学・研究機関

これまでの歩み 新しい順

2025-09
海外出展
オーストラリア:シドニーで開催された第76回国際宇宙会議(IAC 2025)の日本企業出展予定一覧に掲載。 出典
2025-02
助成
JAXA宇宙戦略基金「衛星用軽量低コスト高性能新型リチウムイオンバッテリーの開発」。2.5億円 出典
2025-02
実証
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構(JAXA):衛星用軽量リチウムイオン電池の開発が宇宙戦略基金に採択され、事業を開始。 出典
2024-12
資金調達
金額は非公表。株式会社東海理化 出典
2024-12
資本提携
株式会社東海理化:2024年12月に出資を公表。電池の量産技術開発・事業化での連携を目指す。 出典
2021-07
資金調達
金額は非公表 出典

提携先・顧客

共同開発
国立大学法人東海国立大学機構 名古屋大学 低温プラズマ科学研究センターとナノグラフェン電池を共同開発。半導体材料成長でも連携。 出典
資本提携
株式会社東海理化 2024年12月に出資を公表。電池の量産技術開発・事業化での連携を目指す。 出典
実証
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構(JAXA) 衛星用軽量リチウムイオン電池の開発が宇宙戦略基金に採択され、事業を開始。 出典

特許

6 件 出典
Google Patentsで社名・英語表記を検索し、NU-Reiが出願人として含まれる関連公開記録を確認した範囲の6件。ファミリー重複や全保有件数は網羅していない。
主な分野蓄電デバイス用電極・二次電池、電池充放電方法・装置、プラズマCVD・炭素ナノ材料、プラズマ処理水による農作物・魚類の成長促進
共同出願人名古屋大学、東海国立大学機構、片桐エンジニアリング株式会社
海外出願True
蓄電デバイス用電極、二次電池、および、蓄電デバイス用電極の製造方法(JP7716689B2、WO2024024753A1) NU-Rei株式会社、東海国立大学機構 / 日本登録(Google Patents掲載上Active)。WO公開。 出典
蓄電デバイス用電極、二次電池、および、蓄電デバイス用電極の製造方法(JP7675352B2、公開番号JP2024095896A) NU-Rei株式会社、東海国立大学機構 / 日本登録公報あり。 出典
二次電池の充電方法および二次電池の充電装置(JP2024054791A) NU-Rei株式会社、東海国立大学機構 / 公開。登録状況は本調査で未確認。 出典
Plasma CVD device and method for preparing carbon nano-material(WO2024224845A1) NU-Rei株式会社、東海国立大学機構 / WO公開。Google Patents掲載上Ceased。 出典
蓄電デバイス(WO2025258700A1) NU-Rei株式会社、東海国立大学機構 / WO公開・審査中。 出典
成長促進水溶液とその製造装置並びに農作物および魚類の生産方法(WO2018088559A1) NU-Rei株式会社、名古屋大学、片桐エンジニアリング株式会社 / WO出願はCeasedとの表示。日本登録公報JP7085735B2あり。 出典

会社の規模

従業員19名(2026-04-01時点) 出典
資本金2.03億円(2026-04時点) 出典
大学との関係研究成果ベンチャー
公式サイトnu-rei.co.jp

大学との関係

大学の認定
名古屋大学 名古屋大学発ベンチャーの称号を授与されたことが会社沿革に記載されている。 出典
共同研究
名古屋大学 NU-Reiと名古屋大学が、衛星用軽量リチウムイオン電池の開発事業に採択。JAXAの公表ではNU-Reiが代表機関。 出典
共同研究
名古屋大学 名古屋大学の研究成果をNU-Reiが実用化し、酸化ガリウム関連技術の社会実装を進めると公表。 出典

出資者(公開情報で確認できた2社)

株式会社東海理化株式会社フューテックファーネス
事業会社(CVCを含む) 2

会社や出資者の発表から確認した。出資者の種類は、AIが社名から付けたもの。個人の株主は載せていない。*は、出典のページで社名を機械的に照合できなかったもの。

調査日:2026-10-03
このページの出典:15件
法人番号:7180001109114
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