プラズマで水蒸気を活性化し、熱に弱い素材にも室温で薄膜を作る
プラズマで活性化した水蒸気を使い、熱に弱い基材にも室温で金属酸化物の薄膜を形成する原子層堆積技術。
株式会社Cool ALD 山形大学発 ／ 山形県 米沢市 ／ 2019年設立
研究発の技術 原子層堆積（ALD） 室温成膜 プラズマ 金属酸化物薄膜 ガスバリア 防食コーティング
実用化の段階
研究実証販売
山形大学の実績報告でフィルム等の受託開発と部品コーティングサービスから事業展開を開始したとされ、大学発表では装置販売も事業内容に挙げられている。
2製品
2提携・顧客
0特許
0出資者
しくみ
解こうとしている課題
従来の高温成膜では熱に弱い樹脂や精密部品へのコーティングが難しく、腐食防止やガスバリア性を付与できる素材が限られていた。
どう動くか
対象物を真空容器に入れ、有機金属ガスとプラズマ処理した水蒸気を交互に導入して表面に膜を作る。従来のALDでは基板を約250〜300℃に加熱するのに対し、酸化ガスをプラズマで活性化して室温での成膜を可能にする。ガスによる処理のため、複雑な形状にも膜を形成できると大学が説明している。
できるようになること
室温で腐食防止膜やガスバリア膜を形成できれば、樹脂・精密部品への適用範囲が広がり、有機ELやLEDなどの長寿命化にもつながると大学は説明している。
技術の出自：山形大学大学院理工学研究科のナノテクノロジー・デバイス工学分野。JST START課題「室温原子層堆積法による金属酸化物ナノコーティング技術の事業化」。 出典1 出典2 出典3
使われる場面
- 樹脂・プラスチックの表面コーティング
- 精密部品・金属部品の防食
- フィルムや有機エレクトロニクスのガスバリア
- 有機EL・LEDの長寿命化
- 微粒子への機能性コーティング
優位性の主張
製品・サービス
販売中
室温原子層堆積法によるコーティング・開発受託
金属酸化物薄膜を室温で形成するコーティングサービスと、フィルム・部品などの受託開発。
素材、部品、機器、有機エレクトロニクス関連の企業
これまでの歩み 新しい順
提携先・顧客
提携
国立研究開発法人科学技術振興機構（JST） 大学発新産業創出プログラム（START）で事業化を支援。 出典
提携
野村ホールディングス株式会社 JST START課題の事業プロモーターユニット代表実施機関。 出典
特許
公開情報では確認できていない。